技術(shù)編號：1366084
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造工藝中的硅片清洗，尤其是涉及此種硅片清洗液的配制以及使用該清洗液清洗硅片的方法。背景技術(shù)隨著常規(guī)能源的日益枯竭，清潔方便的太陽能越來越受到人們的關(guān)注。在太陽能電池制造工藝中，硅片作為太陽能電池的核心部件，其各項(xiàng)性能參數(shù)直接影響太陽能電池的發(fā)電效率。太陽能電池的制備過程一般為前道化學(xué)預(yù)處理、擴(kuò)散制備PN結(jié)、去邊結(jié)處理、去磷硅玻璃、鍍氮化硅薄膜、絲網(wǎng)印刷與燒結(jié)處理，其中前道化學(xué)預(yù)處理工藝包括硅片清洗工藝和制絨工藝。硅片清洗的好壞對后期制...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。