技術(shù)編號：1352810
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適合用于清洗用于制造平面顯示器，包括液晶顯示器、等離子顯示器、有機(jī)電致發(fā)光顯示器、柔性顯示器等的基板表面的水性清洗組合物，以及一種使用相同的組合物清洗基板的方法。背景技術(shù)通常以液晶顯示器為例子的平面顯示器(FPDs)通過膜的形成、曝光、蝕刻等而制成。由于，大小為Iym或更小的很小的顆粒如各種有機(jī)或無機(jī)材料可粘附在各個制造工序中的基板表面，不可預(yù)期地造成污染。因為此種由顆粒造成的污染減少了設(shè)備的產(chǎn)率，所以在進(jìn)行后續(xù)工序之前應(yīng)盡可能地減少該污染物...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。