技術(shù)編號：12937278
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS芯片射頻封裝方法，尤其是一種微流控MEMS芯片封裝方法，屬于芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)微流控技術(shù)是目前迅速發(fā)展的高新技術(shù)和多學(xué)科交叉科技前沿領(lǐng)域之一，是生化檢測、化學(xué)科學(xué)與信息科學(xué)信號檢測和處理方法研究的重要技術(shù)平臺。微流控芯片是基于MEMS（MicroElectroMechanicalSystems，微電子機械系統(tǒng)）加工技術(shù)，研究微流控通道表面性能、微流控系統(tǒng)內(nèi)的驅(qū)動和控制規(guī)律，建立樣品預(yù)處理、混合、反應(yīng)、分離、檢測等功能單元為一體的微流控芯片集成技術(shù)。微流控芯片是生物醫(yī)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。