技術(shù)編號(hào):12936131
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及機(jī)械加工設(shè)備領(lǐng)域,具體涉及一種產(chǎn)品鍍膜用掛具。背景技術(shù)蒸發(fā)鍍膜需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,一般是加熱靶材使表面成分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。為了滿足客戶需求及產(chǎn)品性能要求,需要讓產(chǎn)品在真空室內(nèi)呈現(xiàn)固定角度,讓產(chǎn)品需要鍍鋁的區(qū)域充分與需要鍍的表面成分接觸,因此需要利用掛具對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行懸掛,提高產(chǎn)品與蒸發(fā)靶材的接觸面積。掛具不僅要滿足產(chǎn)品懸掛的要求,還要盡可能多的懸掛產(chǎn)品,常見的掛具通過螺栓頂緊調(diào)節(jié)各層次之間的間距,不僅調(diào)節(jié)速度慢,且無(wú)法保...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。