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固定晶圓的表面粘貼方法及SMT晶圓固定裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12916787

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本發(fā)明涉及SMT工藝,尤其涉及SMT工藝中將晶圓粘貼固定于基板上的裝置和方法。背景技術(shù)現(xiàn)有的錫膏固定晶圓方法(SolderDieAttach)采用的用錫膏印刷方法,錫膏從鋼網(wǎng)印刷到基板后,后續(xù)再做晶圓/元件粘貼,通過回流爐做錫膏焊接,把晶圓/元件等固定在基板上。然而,由于錫膏物料中含有的助焊劑(松香),由于晶圓貼上后助焊劑揮發(fā)受阻,在后續(xù)的回流焊接中會(huì)變成氣泡留在晶圓底部,形成焊錫空洞。對(duì)于比較厚的晶圓粘貼,焊錫空洞不會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重問題,但隨著晶圓工藝的發(fā)展,晶圓厚度越來(lái)越薄,焊錫空洞的風(fēng)險(xiǎn)暴露出來(lái)...
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