技術(shù)編號(hào)：12916757
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域，尤其涉及一種溝槽型肖特基二極管的制備方法。背景技術(shù)功率二極管作為電路系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，被廣泛的應(yīng)用在了高頻逆變器、數(shù)碼產(chǎn)品、發(fā)電機(jī)、電視機(jī)等民用產(chǎn)品上，也被應(yīng)用在了衛(wèi)星接收裝置、導(dǎo)彈、飛機(jī)等軍用設(shè)備上。目前，常用的功率二極管的種類有普通整流二極管、肖特基二極管等。其中，由于肖特基二極管具有較低的通態(tài)壓降、較低的漏電流、反向恢復(fù)時(shí)間很小等特點(diǎn)，被廣泛的應(yīng)用到各類設(shè)備上；并且肖特基二極管中的溝槽型肖特基二極管具有低的正向?qū)▔航?、較高的管芯面積利用率，從而溝槽型肖特基二極管受...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。