技術(shù)編號:12898948
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及陶瓷領(lǐng)域,尤其涉及一種低介質(zhì)損耗陶瓷及其制造方法。背景技術(shù)氧化鋁陶瓷是價格低廉、綜合性能優(yōu)良、應(yīng)用最廣的陶瓷材料,它具有耐熱性、耐腐蝕、高強度以及介質(zhì)損耗小等特性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶用高頻等離子蝕刻裝置部件、微波諧振器等高頻電子領(lǐng)域。然而,氧化鋁陶瓷的性能與配方和工藝密切相關(guān),不合適的工藝將導(dǎo)致較差的高頻性能,尤其是燒結(jié)工藝影響巨大?,F(xiàn)有的配方和燒結(jié)工藝生產(chǎn)的氧化鋁陶瓷,具有較大的高頻介質(zhì)損耗,在MHz以上高頻領(lǐng)域應(yīng)用時,其透波性能下降,導(dǎo)致能量損失增大,進而導(dǎo)致氧化鋁陶瓷發(fā)熱,致...
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