技術(shù)編號：12898399
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及換能器模塊、包括該換能器模塊的裝置以及制造換能器模塊的方法。背景技術(shù)已知MEMS(微機電系統(tǒng))類型的聲換能器(具體為麥克風(fēng))包括被設(shè)計為將聲壓波轉(zhuǎn)換為電量(例如，電容變化)的薄膜敏感結(jié)構(gòu)以及設(shè)計為在所述電量上承載適當(dāng)處理操作(放大和過濾操作)用于提供表示接收到的聲壓波的電輸出信號(例如，電壓)的讀取電子器件。在使用電容感測原理的情況下，MEMS敏感結(jié)構(gòu)通常包括移動電極，其設(shè)置為隔膜或薄膜、布置為面對固定電極以提供具有可變電容的感測電容器的板。移動電極通過其第一部分(通常是周邊部分)錨固...
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