技術(shù)編號(hào)：12892850
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種電容式MEMS傳感器陣列，用于實(shí)現(xiàn)對(duì)待檢組織的異常進(jìn)行檢測(cè)診斷和治療，屬醫(yī)療器械制作技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)人類對(duì)體表和可觸及的組織進(jìn)行檢查的最常用方法是觸診。利用壓力傳感器陣列模擬排布于人類皮膚內(nèi)的meisner觸覺小體進(jìn)行仿生觸診，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)待檢組織的異常進(jìn)行甄別檢測(cè)的過程。壓力傳感器的長(zhǎng)期可靠性、溫濕度穩(wěn)定性、重復(fù)性、零點(diǎn)漂移等靜態(tài)特性，傳感器厚度及其力敏材料的力學(xué)性能，都是影響壓力傳感器性能的重要因素。要探測(cè)彈性壓力分布就需要相同的單個(gè)壓力傳感器構(gòu)成的陣列來完成，而每個(gè)壓力傳感器...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。