技術編號：12888934
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能電池的擴散制結工藝領域，具體涉及一種太陽能電池晶體硅片磷擴散方法。背景技術太陽能電池是一種將光能直接轉化為電能的器件，由于其清潔、無污染，取之不盡，用之不竭，逐漸成為一種重要的發(fā)電方式。其原理是利用PN結的光生伏特效應將光能轉化成電能。目前廣泛采用的是硅太陽能電池，其制造工藝也已經標準化，主要步驟為：化學清洗及表面結構化處理(制絨)—擴散制結—刻蝕清洗—沉積減反射膜—印刷電極—燒結。其中，擴散制結(通常是磷擴散制結)步驟是一個關鍵步驟，制結工藝對電池的性能具有至關重要的影響，包括...
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