技術編號：12883544
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜電池的制備工藝技術，尤其涉及一種LPCVD工藝腔勻氣裝置。背景技術隨著環(huán)境污染引起的溫室效應問題日益嚴重，人們也越來越認識到環(huán)境保護的重要性，同時人們對能源的需求也在逐年遞增，能源危機也在日益臨近，使用清潔能源已被各國政府和組織提上了議事日程?，F(xiàn)在各國都在大力發(fā)展清潔能源，光伏應用作為新能源應用的一個重要組成部分，正逐漸被人們所重視。目前光伏產業(yè)的發(fā)展，關鍵取決于降低太陽能電池生產成本的潛力。銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池具有生產成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等特點，光電轉換...
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