技術編號：12881128
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及三坐標測量機微納米測球領域，具體是基于磁化力的抗磁性材料制備高精度微測球的重力抵消裝置。背景技術隨著納米加工技術的發(fā)展，當微型產品的精確度增加的同時，對高精度微三維的測量需求也相應增加。最可靠的測量三維部件大小、形態(tài)和空間位置的方式就是使用球形尾部，接觸式測頭測量系統(tǒng)，如微納米三坐標測量機。在一個接觸式探頭中，最重要的組成部分就是球形尖端。一個接觸式探頭能夠實現(xiàn)非接觸式探頭難以測量的高縱橫比的微孔，槽和側壁的測量。利用電火花加工制備測球時，纖維尖端溫度升高，并開始熔化，最終形成一個球體...
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