技術(shù)編號：12880578
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種在真空氛圍下對涂覆有藥液的基板進(jìn)行加熱而使其干燥的基板加熱干燥裝置，具體而言，涉及一種如下的基板加熱干燥裝置：在對基板涂覆藥液并使其干燥的過程中，從根源上去除基板上的斑點的發(fā)生，從而防止工藝不良。背景技術(shù)通常，用于平板顯示裝置的基板經(jīng)過多個步驟的加工工序和這些加工工序之間的洗滌及干燥工序。如上所述，在經(jīng)過基板的加工步驟之后進(jìn)行洗滌，之后進(jìn)行基板干燥工序，而這種基板加熱工序在如下的基板加熱干燥裝置中執(zhí)行，在配備有加熱板的腔室內(nèi)放入基板而使其干燥。在現(xiàn)有的基板加熱干燥裝置中，如果在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。