技術編號:12875859
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于晶體生長設備領域,具體涉及一種泡生法制備藍寶石晶體設備的加熱裝置。背景技術藍寶石俗稱剛玉,具有優(yōu)良的機械、光學、化學、電學特性,并且能夠耐高溫,抗輻射被廣泛用于耐磨器件、光學窗口、襯底材料、導彈整流罩等領域。泡生法,又稱柴氏法,KY法,是目前大尺寸、高質量塊狀藍寶石單晶批量生產的主流方法。泡生法藍寶石晶體生長爐主要由加熱系統(tǒng)(加熱、控溫)、保溫系統(tǒng)(隔熱屏)、真空控制系統(tǒng)、傳動系統(tǒng)(提拉、旋轉)、冷卻系統(tǒng)等構成;晶體制備過程主要包括化料、長晶、退火及冷卻等,該方法的優(yōu)勢在于晶體直徑...
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