技術(shù)編號：12866829
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及電子束加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶有聚焦補償功能的電子束快速成型機電子槍系統(tǒng)。背景技術(shù)電子束快速成型機在3D元件的制造過程中，其X-Y平面的方向控制則一般由偏掃裝置完成，而Z軸的方向控制則由機械運動完成。偏掃裝置的工作機理與機械運動存在根本的區(qū)別，偏掃裝置依靠磁場的作用來操縱電子束的運動軌跡。由于磁場作用的工作機理以及制造工藝的影響，磁場的磁感應(yīng)強度與其勵磁電流之間呈非線性關(guān)系，且聚焦與偏掃之間也存在交叉影響，因此電子束快速成型機中3D元件制造過程的控制較一般的機械加工3D元件的控...
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