技術編號：12864989
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于晶體硅電池制備領域，具體涉及一種石英舟及太陽能電池擴散工藝。背景技術在晶體硅電池制備領域，通常采用高溫擴散法制備電池的核心PN結(jié)，擴散PN結(jié)片內(nèi)、片間均勻性直接影響電池性能的高低和量產(chǎn)電池電性能的穩(wěn)定性。擴散PN結(jié)表面濃度和結(jié)深，即PN結(jié)的縱向濃度分布決定PN結(jié)測試方塊電阻值的大小，從而影響PN結(jié)電性能。目前普遍采用高溫擴散爐進行高溫擴散制備PN結(jié)。常用高溫擴散爐是長管狀結(jié)構(gòu)，以石英舟承載硅片。現(xiàn)有石英舟共有200個齒槽，且由于齒槽之間的齒間距相等，當硅片豎直插在石英舟的齒槽中時呈等距...
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