技術(shù)編號(hào)：12843137
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種納米壓印裝置，尤其是輥對(duì)輥?zhàn)贤饧{米壓印裝置。背景技術(shù)在十二世紀(jì)中期，半導(dǎo)體微電子技術(shù)以及微型化這兩種技術(shù)從微型化的尺度來衡量，還停留在微米級(jí)技術(shù)的范疇，隨著之后科技的不斷進(jìn)步與發(fā)展，半導(dǎo)體技術(shù)與微系統(tǒng)技術(shù)研究與制造技術(shù)不斷突破，它們制造尺度逐步進(jìn)入了更高精度的微納米及納米級(jí)范疇，從而促使納米加工技術(shù)的誕生，實(shí)現(xiàn)了從微米到納米的轉(zhuǎn)變甚至跳躍。而此進(jìn)步不僅只是量級(jí)的過渡，在微納米技術(shù)加工方面更是一個(gè)質(zhì)的飛躍。隨著納米加工技術(shù)的成功提出和展現(xiàn)后，相關(guān)領(lǐng)域?qū)W者陸續(xù)提出了：納米紫外光學(xué)曝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。