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n溝道DEMOS器件的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12837983

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所公開的實施例涉及n溝道漏極延伸金屬氧化物半導體(DEMOS)器件。背景技術(shù)可以使用n溝道或p溝道DEMOS結(jié)構(gòu)來制造功率半導體器件。DEMOS器件通過在器件的漏極和溝道之間添加p型漏極漂移區(qū)來延伸器件的n+漏極,從而捕獲該區(qū)域而不是溝道區(qū)中的大部分電場,因此,在該區(qū)域而不是溝道區(qū)中具有熱載流子效應,由此增加熱載流子可靠性。DEMOS器件可具有對稱漏極結(jié)構(gòu)或不對稱漏極結(jié)構(gòu)。發(fā)明內(nèi)容提供本發(fā)明內(nèi)容以簡化的形式介紹所公開概念的簡要選擇,這些概念在下面包括所提供的附圖的具體實施方式中作進一步描述。本發(fā)...
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