技術編號：12827496
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光伏電池技術領域，特別是涉及一種太陽能電池的柵極制備方法和系統(tǒng)。背景技術通常，制備太陽能電池大部分都采用硅片作為襯底。譬如，多晶硅。由于多晶硅受到長晶工藝、電阻率、位錯密度、雜質含量及晶界的影響，其少子壽命分布并不均勻。即使在后續(xù)的太陽能電池制備工序中，對其進行制絨工藝和擴散工藝的加工處理，也不能實現(xiàn)少子壽命的均勻分布。并且，多晶硅的少子壽命通常呈高斯型擴散分布，且少子壽命與載流子擴散長度呈正比例關系。即，少子壽命較低的區(qū)域對應的載流子擴散長度較短，少子壽命較高的區(qū)域對應的載流子擴散長...
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