技術(shù)編號：12827195
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基于三個(gè)或更多個(gè)狀態(tài)的功率和頻率的調(diào)節(jié)本申請是申請?zhí)枮?01310422704.3、申請日為2013年9月16日、發(fā)明名稱為“基于三個(gè)或更多個(gè)狀態(tài)的功率和頻率的調(diào)節(jié)”的發(fā)明專利申請的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施方式涉及改善對等離子體阻抗的改變的響應(yīng)時(shí)間，更具體地涉及用于基于三個(gè)或更多個(gè)狀態(tài)的功率和頻率調(diào)節(jié)的裝置、方法和計(jì)算機(jī)程序。背景技術(shù)在等離子體處理系統(tǒng)中，多個(gè)射頻(RF)信號被提供給等離子體室中的一或多個(gè)電極。RF信號幫助在等離子體室內(nèi)產(chǎn)生等離子體。該等離子體被用于各種操作，例如，清潔位于...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。