技術(shù)編號(hào)：12824957
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種MEMS釋放長(zhǎng)度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，屬于微機(jī)械制造領(lǐng)域。背景技術(shù)上世紀(jì)90年代以來，MEMS技術(shù)取得長(zhǎng)足發(fā)展，加速度計(jì)、硅麥克風(fēng)、壓力傳感器、陀螺儀、數(shù)字微鏡等多種MEMS器件紛紛商業(yè)化成功，并逐步替代同類傳統(tǒng)器件。在MEMS加工方法中，釋放工藝是使用最為廣泛的加工工藝之一。目前在犧牲層釋放時(shí)，比較常見的釋放長(zhǎng)度監(jiān)控方法有兩種：一種是破壞式的，釋放完成后，用膠帶粘貼揭開已經(jīng)釋放開的結(jié)構(gòu)，直接用顯微鏡長(zhǎng)度測(cè)量功能測(cè)量錨區(qū)長(zhǎng)度，但，這種做法的問題，一方面是破壞性檢測(cè)，另一方面是難以將錨區(qū)犧牲...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。