技術(shù)編號:12820551
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及使用于半導(dǎo)體工廠的天車運輸系統(tǒng),特別涉及一種用于輸送芯片的天車、運行天車的系統(tǒng)與運行天車的方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,特別是在超大型集成電路(ULSI)的設(shè)計和發(fā)展,為了滿足高密度集成電路設(shè)計要求,器件尺寸必須微縮到納米等級,因此,通常包含許多工藝步驟,用來制造所需的集成電路,如蝕刻,研磨,擴散和沉積工藝。也就是說,制造過程從開始到結(jié)束,同一批次的芯片可被重復(fù)的從一個工藝設(shè)備被運輸?shù)搅硪粋€工藝設(shè)備進行處理。請參考圖1,圖1為目前已知使用于半導(dǎo)體工廠的軌道天車系統(tǒng)。一般來說,芯片...
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