技術(shù)編號：12813607
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濺射裝置。背景技術(shù)目前眾所皆知的顯示裝置具有液晶顯示裝置(liquidcrystaldisplay：LCD)、等離子顯示裝置(plasmadisplaypanel：PDP)和有機(jī)發(fā)光顯示裝置(organiclightemittingdiodedevice：OLEDdevice)等。為了形成這種顯示裝置，需要進(jìn)行用于形成由規(guī)定物質(zhì)構(gòu)成的薄膜的薄膜沉積(thinfilmdeposition)、光刻(photo-lithography)或蝕刻(etching)等各種彼此不同的工藝。其中，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。