技術編號：12809180
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種高效、低成本的金剛線加工單多晶硅片的方法。背景技術金剛線加工切片，屬于鋼線表面電鍍金剛石鉆石顆粒，采用高速正反向切割的方式，在硅體表面性質(zhì)兩體磨削式切割，得到一種硅片表面線痕在小于15um，ttv值小于30um的加工硅片，傳統(tǒng)的金剛線硅片切片，加工方式處理方式如下：1、設備正向距離在350~650米，回線距離在340~600米，加速時間在6~8米每平方秒，線速在每秒22~30米；加工臺速在1.3~2毫米每分鐘。2、由于鋼線往復的距離短，加工停頓時間頻次多，影響鋼線的切割力，加工耗線...
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