技術(shù)編號(hào):12800212
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。圖案形成方法及裝置、圖案曝光方法、以及元件制造方法本申請(qǐng)是分案申請(qǐng),原案的申請(qǐng)?zhí)枮?01280053802.8,申請(qǐng)日為2012年09月27日,發(fā)明名稱為“基板處理裝置及基板處理方法”。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明關(guān)于用以對(duì)薄膜及片材等薄膜機(jī)板施以圖案化等高精度加工的基板處理裝置、以及薄膜基板的搬送裝置。又,本發(fā)明的目的在提供一種用以實(shí)施高精度加工的基板處理方法。本申請(qǐng)案主張2011年11月4日申請(qǐng)的日本國(guó)特愿2011-242788號(hào)的優(yōu)先權(quán),將其內(nèi)容援用于此。背景技術(shù)作為構(gòu)成顯示器裝置等顯示裝置的顯示元件,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。