技術(shù)編號(hào)：12794617
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種直拉單晶爐熱場保溫結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)單晶生長所處的環(huán)境是由加熱器、石墨件、保溫材料等單元構(gòu)成的熱場結(jié)構(gòu)。單晶爐熱場是維持晶體生長所需溫度梯度的核心部分，它決定了晶體生長的工藝窗口和晶體生長過程的穩(wěn)定性。圖1為單晶爐熱場的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，單晶爐下爐室1為熱場部件的載體；保溫碳?xì)?、保溫桶3和主加熱器4構(gòu)成熱場的保溫單元和加熱單元。熱場還包括熱屏單元5、石墨坩堝6、石英坩堝7和底加熱器8，其中，石英坩堝7是硅熔體9的載體，石墨坩堝6則是石英坩堝7的支撐部件；10為生長的單晶棒。單晶生長過...
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