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壓電組件、超聲波組件及電子設(shè)備的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12786867

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本發(fā)明涉及壓電組件、超聲波組件及電子設(shè)備。背景技術(shù)目前,已知具備在傳感器基板上安裝多個超聲波換能器的超聲波傳感器(例如專利文獻(xiàn)1)。上述專利文獻(xiàn)1記載的超聲波傳感器具備例如在傳感器基板上沿著X軸及Y軸以均等間隔配置四個超聲波換能器的矩陣狀的二維陣列結(jié)構(gòu)。然而,在上述那種二維陣列結(jié)構(gòu)中存在連接于各超聲波換能器的布線復(fù)雜化的問題。為了解決上述問題,已知使用貫通電極的超聲波探頭(例如專利文獻(xiàn)2)。上述專利文獻(xiàn)2記載的超聲波探頭具有電氣機(jī)械耦合系數(shù)或靈敏度根據(jù)偏置電壓而變化的多個振動元件,各振動元件具備...
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