技術(shù)編號：12784743
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在此描述的一個或多個實施方式涉及電導(dǎo)率探測器和包括電導(dǎo)率探測器的離子色譜系統(tǒng)。背景技術(shù)超純水(UPW)已經(jīng)被用于半導(dǎo)體器件的各種制造工藝。當(dāng)使用UPW時，雜質(zhì)的離子濃度已經(jīng)成為焦點并因此經(jīng)常受到小心的監(jiān)視，尤其在小尺寸的高度集成半導(dǎo)體器件的制造期間。用于UPW監(jiān)視的一種方法涉及使用離子色譜執(zhí)行組分分析。離子色譜可以通過在分離柱中分離UPW中的離子組分而執(zhí)行。然后，每個離子組分的電導(dǎo)率通過電導(dǎo)率探測器被探測。之后，基于對于每個離子組分的探測到的電導(dǎo)率執(zhí)行定性分析和定量分析。電導(dǎo)率探測器可以從處于十...
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