技術(shù)編號：12780019
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，且特別涉及一種涂膠顯影設(shè)備涂敷單元。背景技術(shù)目前，在半導(dǎo)體器件的制造中，通常利用涂膠顯影設(shè)備(Automaticcleantrack，ACT)進(jìn)行涂覆光刻膠和顯影。通常ACT設(shè)備具有晶片盒站、涂敷單元、顯影單元以及機(jī)械手臂等。涂膠顯影設(shè)備是集成電路芯片制造過程中涂敷感光膠并加溫固化，圖形曝光后再進(jìn)行顯影成型的設(shè)備。涂敷單元是實現(xiàn)光刻膠涂在基片表面的工序。涂敷單元的作用還有，在涂膠的同時防止光刻膠外濺，收集多余的濺出光刻膠集中排到集膠桶以便回收。該單元和排氣系...
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