技術(shù)編號：12766885
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于光學相干干涉技術(shù)領(lǐng)域，具體是涉及一種基于光學相干干涉的測量系統(tǒng)。背景技術(shù)光學干涉測量技術(shù)是以光波干涉原理為基礎(chǔ)的一門技術(shù)，與一般的光學測量方法相比，因為干涉儀器是以干涉條紋來反映被測物理量，如位移、反射率、折射率、波長等的變化信息，所以光學干涉測量技術(shù)具有更高的靈敏度和精度，干涉法原理簡單，構(gòu)造容易，測量精度高，測量范圍廣，常用的干涉儀器有邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀，在激光出現(xiàn)以后，加之電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展，光學干涉技術(shù)得到了長遠發(fā)展。基于...
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