技術(shù)編號(hào):12749596
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種壓合機(jī)的壓頭結(jié)構(gòu),特別是一種適于倒裝固晶的自動(dòng)調(diào)整型熱壓頭結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)熱壓機(jī)熱壓的產(chǎn)品,特別是倒裝芯片的熱壓,要求壓面受力均勻,即要熱壓頭與倒裝芯片和基板間具有良好的平行度,才可保證產(chǎn)品的質(zhì)量。目前市場(chǎng)上各廠家生產(chǎn)的熱壓機(jī),其熱壓頭表面是剛性的,其與工件見(jiàn)的平行度要靠工裝夾具的加工精度或是通過(guò)調(diào)整夾具來(lái)保證,但事實(shí)上夾具的精度在高也存在一些誤差,而調(diào)校夾具的方式又比較費(fèi)時(shí),導(dǎo)致生產(chǎn)效率低下。另外原材料的均勻性也會(huì)影響熱壓結(jié)果,如倒裝芯片和基板的凸點(diǎn)也有不均勻的問(wèn)題,經(jīng)常會(huì)有虛焊和...
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