技術(shù)編號(hào)：12746290
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)中的微機(jī)電系統(tǒng)工藝制造領(lǐng)域領(lǐng)域，尤其涉及一種非制冷紅外焦平面探測(cè)器微橋的制作方法和結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)非制冷紅外探測(cè)技術(shù)是無(wú)需制冷系統(tǒng)對(duì)外界物體的紅外輻射進(jìn)行感知并轉(zhuǎn)化成電信號(hào)經(jīng)處理后在顯示終端輸出的技術(shù)，可廣泛應(yīng)用于國(guó)防、航天、醫(yī)學(xué)、生產(chǎn)監(jiān)控等眾多領(lǐng)域。非制冷紅外焦平面探測(cè)器由于其能夠在室溫狀態(tài)下工作，并具有質(zhì)量輕、體積小、壽命長(zhǎng)、成本低、功率小、啟動(dòng)快及穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，滿足了民用紅外系統(tǒng)和部分軍事紅外系統(tǒng)對(duì)長(zhǎng)波紅外探測(cè)器的迫切需要，近幾年來(lái)發(fā)展迅猛。非制冷紅外探測(cè)器主要包括測(cè)輻...
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