亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

一種磁控濺射陰極裝置及磁控濺射裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12744097

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種磁控濺射陰極裝置及磁控濺射裝置。背景技術(shù)磁控濺射設(shè)備一般用于集成電路、半導(dǎo)體照明、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域,由傳送腔體、工藝腔體、控制柜及輔助設(shè)備組成。工藝腔體也稱(chēng)反應(yīng)腔體或真空腔體,安裝有陰極靶位、襯底樣品臺(tái)、氣體管路以及真空管路。陰極靶位按照需要安裝靶材,連接直流電源或射頻電源,并通有冷卻水。需要鍍膜的材料會(huì)由傳送腔體傳送至工藝腔體內(nèi)的襯底樣品臺(tái)上。真空管路與分子泵及前級(jí)泵連接,用于為工藝腔體提供真空。氣體管路一般以腔壁打通孔的形式接入工藝腔體內(nèi),負(fù)責(zé)將需要的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 王老師:功能高分子材料,污水處理,電化學(xué)合成
  • 趙老師:1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應(yīng)用研究
  • 王老師:1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開(kāi)發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
  • 王老師:1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復(fù)合加工 4.超聲/激光復(fù)合加工 5.復(fù)合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
  • 郝老師:1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
  • 劉老師:非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學(xué)機(jī)理,鋰/鈉離子電池,鋰-空氣電池關(guān)鍵材料,多孔合金電極材料,新型二次電池的設(shè)計(jì)與改性。
  • 丁老師:1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
  • 王老師:機(jī)械制造