技術(shù)編號：12736513
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及靶材加工領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材表面的處理方法。背景技術(shù)金屬靶材是液晶顯示器制造中最重要的原材料之一，液晶顯示器的制造普遍采用物理氣相沉積工藝，在物理氣相沉積過程中，電離形成的氬離子在電場的作用下加速，加速的氬離子轟擊金屬靶材形成大量靶材原子，濺射出的大量靶材原子沉積在基板上形成薄膜。在實際制造過程中，金屬靶材表面的粗糙度會影響靶材濺射速率的穩(wěn)定性，進而導(dǎo)致在基板上形成的薄膜厚度不均勻，因此為了確保薄膜質(zhì)量的穩(wěn)定性，需要對金屬靶材進行鏡面處理以提高金屬靶材表面的光潔度。以銅材料的金屬靶材...
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