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一種通過快速退火提高有機場效應晶體管遷移率的方法與流程技術資料下載

技術編號:12725641

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本發(fā)明屬于半導體行業(yè)有機場效應晶體管技術領域,具體涉及一種提高有機場效應晶體管遷移率的實現(xiàn)方法。背景技術有機場效應晶體管作為電子電路中的基本元器件,因其半導體層材料具有來源廣泛、輕柔、加工工藝簡單的特點,并可應用于大面積印刷工藝,非常適合下一代柔性電子產業(yè)的發(fā)展。近年來,有機場效應晶體管已取得了快速的發(fā)展,其中基于紅熒烯的單晶場效應晶體管遷移率達到了15cm2/Vs,已經超過了無定形硅。在有機場效應晶體管中,導電溝道位于有機半導體層內靠近柵絕緣層的亞納米尺度范圍內。因為柵絕緣層表面的形貌、粗糙度...
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