技術(shù)編號：12725150
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用于保持晶片的容納裝置本申請是申請?zhí)枮?01080070797.2、申請日為2010年12月20日的同名稱申請的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于容納并且保持晶片的容納裝置和用于在使用該容納裝置的情況下將第一晶片與第二晶片對齊的裝置和方法。背景技術(shù)這種容納裝置或者樣品保持器或夾盤以許多實施方式存在，并且對于容納裝置，平坦的容納面或者保持面是決定性的，由此在越來越大的晶片面上的變得越來越小的結(jié)構(gòu)可以在整個晶片面上被正確地對齊和接觸。如果所謂的預(yù)鍵合步驟（該預(yù)鍵合步驟將晶片借助可分離的連接相互連接）在...
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