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偶極子天線中的具備SiO2保護(hù)層的SPiN二極管的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12724875

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域,涉及天線技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種偶極子天線中的具備SiO2保護(hù)層的SPiN二極管的制備方法。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,無線通信技術(shù)在人們的生活中發(fā)揮著越來越重要的作用。無線通信利用無線電波進(jìn)行工作,而無線電波的接收和發(fā)送靠天線完成,天線的性能直接影響整個(gè)無線通信系統(tǒng)。傳統(tǒng)金屬天線由于其重量和體積都相對(duì)較大,設(shè)計(jì)制作不靈活,自重構(gòu)性和適應(yīng)性較差,嚴(yán)重制約了雷達(dá)與通信系統(tǒng)的發(fā)展和性能的進(jìn)一步提高。因此,近年來,研究天線寬頻帶、小型化、以及重構(gòu)與復(fù)用的理論日趨活...
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