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光學(xué)設(shè)備、具有光學(xué)設(shè)備的曝光裝置及物品制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12715602

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本發(fā)明涉及光學(xué)設(shè)備、具有光學(xué)設(shè)備的曝光裝置及物品制造方法。背景技術(shù)已知可以校正由光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)元件的制造誤差、組裝誤差等導(dǎo)致的像差等的光學(xué)設(shè)備。光學(xué)設(shè)備包括如下的鏡子:該反射鏡的反射表面的形狀可被改變并且被例如用在經(jīng)由投影光學(xué)系統(tǒng)將光投影到物體的設(shè)備(諸如曝光裝置或激光加工設(shè)備)中。通過將光學(xué)設(shè)備設(shè)置在投影光學(xué)系統(tǒng)的光路上并調(diào)整反射鏡的形狀可以校正像差等。反射鏡的形狀的調(diào)整由設(shè)置在反射鏡的背面上的多個驅(qū)動單元來執(zhí)行,但是由于從驅(qū)動單元發(fā)出的熱而可能難以將反射鏡的形狀改變?yōu)槠谕男螤?。因此,日本?..
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