技術(shù)編號：12700914
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種回收裝置，尤其涉及一種廢棄靶材低耗型回收裝置。背景技術(shù)靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。經(jīng)過檢索，目前并沒有廢棄靶材或靶材廢料的回收設(shè)備，目前廢棄靶材或靶材廢料的回收基本上是通過簡單放置回收桶，操作人員將廢棄靶材或靶材廢料扔入回收桶來實(shí)現(xiàn)回收的，這種方...
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