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技術(shù)編號：12699604

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本公開涉及一種可調(diào)控式不溶性陽極板，特別是應(yīng)用于銅柱電鍍工藝與其方法。背景技術(shù)銅柱凸塊技術(shù)是近年來三維集成電路(3DIC)工藝中逐漸獲得大量采用的技術(shù)，也在各種應(yīng)用領(lǐng)域嶄露頭角。由于銅柱可通過使用電鍍方式制作；因此，銅柱電鍍系統(tǒng)成為在3DIC產(chǎn)業(yè)中常見的工藝應(yīng)用系統(tǒng)。一般在3DIC產(chǎn)業(yè)的工藝上，通常是在具有圖案(pattern)的硅基板或者是在印刷電路板(PCB)上以電鍍的方式形成銅柱。而在電鍍的過程中，最重要的是讓電鍍所形成的銅柱高度具有均勻性，因此如何電鍍出具有高度均勻性的銅柱即為電鍍技術(shù)最...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
• 余老師：設(shè)計和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用，通過先進表征手段和理論模擬計算理解催化位點和反應(yīng)機理，力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團簇、金屬有機框架材料的合成性能研究與計算模擬，主要包括： 1.多酸團簇-無機晶核共組裝進行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進能源材料設(shè)計、制備和器件應(yīng)用。
• 焦老師：新能源材料設(shè)計、合成及應(yīng)用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
• 蔣老師：以儲能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計及作用機理研究 4. 仿生材料的設(shè)計、合成及應(yīng)用研究