技術編號：12694787
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及化學機械拋光液制備領域，特別是涉及一種氧化硅復合磨粒及其制備方法和用途。背景技術藍寶石俗稱剛玉，是一種簡單配位型氧化物，常因含微量元素四價鈦或二價鐵而呈現(xiàn)藍色。隨著科學技術的迅猛發(fā)展，藍寶石晶體已經(jīng)成為現(xiàn)代工業(yè)尤其是微電子及光電子產(chǎn)業(yè)極為重要的基礎材料。作為最硬的氧化物晶體，藍寶石由于其光學和物理特性而被運用于各種要求苛刻的領域。藍寶石晶體廣泛用于軍用紅外裝置、導彈、潛艇、衛(wèi)星空間技術、探測和高功率強激光等領域，它還為微電子、光電子、半導體、光通信、信息顯示尤其是藍或白LED光照明產(chǎn)業(yè)...
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