技術(shù)編號(hào)：12690399
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域的一種微單殼體諧振器。背景技術(shù)為實(shí)現(xiàn)高性能微殼體諧振陀螺，發(fā)明專(zhuān)利“微玻璃半球諧振陀螺及其圓片級(jí)制備方法”(專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枺?01510963681.6)提出一種嵌入式硅電極，這種電極嵌入在復(fù)合結(jié)構(gòu)基底中，但電極與電極間的面積較大，工作時(shí)容易產(chǎn)生較大的寄生電容和信號(hào)干擾，影響器件的性能。為解決這一問(wèn)題，需要減小電極間的面積以減小寄生電容和信號(hào)干擾。發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的是提供一種微單殼體諧振器，以減小電極間的面積以減小寄生電容和信號(hào)干擾。...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路，無(wú)完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。