技術(shù)編號：12658258
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了基于縫隙結(jié)構(gòu)的在線式微波相位檢測器，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)在微波技術(shù)領(lǐng)域中，相位是表征微波信號的三大參數(shù)之一(頻率、相位和幅度)。微波相位檢測器廣泛應(yīng)用于個人通信、軍事國防和科學(xué)研究等方面。當(dāng)前廣泛采用的微波相位檢測技術(shù)按原理可劃分為：二極管結(jié)構(gòu)、吉爾伯特乘法器結(jié)構(gòu)和矢量合成法。它們的優(yōu)點(diǎn)是精度高，寬頻帶，但是無法實(shí)現(xiàn)在線式檢測，并且結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜，體積相對較大。為了解決上述微波相位檢測器的問題，本發(fā)明在高阻硅襯底上設(shè)計(jì)了基于縫隙結(jié)構(gòu)的在線式微波相位檢測器。...
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