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硅基未知頻率縫隙耦合式直接式毫米波相位檢測器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12658236

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本發(fā)明提出了硅基未知頻率縫隙耦合式直接式毫米波相位檢測器,屬于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著電子信息電子科學(xué)技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,人們已經(jīng)來到了一個信息非常多元化的時代,人們周圍都充斥著各種各樣的信息通訊設(shè)備,歸根結(jié)底地講,幾乎所有的通訊信息設(shè)備都離不開對信號的檢測和處理,因此信號的檢測也一直是人們?nèi)找娌粩嘌芯康闹匾獌?nèi)容。目前,人們研究的大多數(shù)信號主要集中在低頻和某些高頻波段,對于極高頻的信號研究較少,毫米波信號是一種位于微波和遠紅外波交疊區(qū)域的極高頻信號,隨著對頻段資源的不斷開發(fā)...
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