技術(shù)編號：12655440
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種助于光譜信號收集的裝置、光譜信號系統(tǒng)及半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù)工藝的終點控制技術(shù)是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中比較關(guān)鍵的技術(shù)。隨著刻蝕關(guān)鍵尺寸的逐漸減小和基片膜層結(jié)構(gòu)的逐漸復(fù)雜，對終點控制的要求也就越來越高?，F(xiàn)有的實現(xiàn)工藝終點控制的主要原理是：獲取工藝刻蝕過程中產(chǎn)生的聚合物發(fā)射出的光譜，根據(jù)該光譜采用閾值控制方法或斜率控制方法來準(zhǔn)確抓取工藝的終點?；谏鲜鲈恚绾潍@取高信噪比的光譜信號是關(guān)鍵，而目前采用光纖頭直接收集光譜信號，往往存在信噪比低的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明旨在...
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