技術(shù)編號(hào)：12646418
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛和鋯鈦酸鉛異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜及其制備方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于功能薄膜材料領(lǐng)域，具體涉及一種鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛和鋯鈦酸鉛異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜及其制備方法。背景技術(shù)鐵電薄膜是一類重要的功能性薄膜材料，具有良好的壓電性，鐵電性，熱釋電性，電光及非線性光學(xué)特性等，其應(yīng)用與推廣滲透到各相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域。目前已經(jīng)在非易失性存儲(chǔ)器，動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器，自旋電子器件，新型傳感器等新型功能材料與集成器件上得到廣泛的應(yīng)用。鋯鈦酸鉛(PbZr1-xTixO3，簡(jiǎn)稱PZT)鐵電體材料是PbTiO3和PbZrO3的固溶體，在x＝0...
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