技術(shù)編號：12637248
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及金剛石基底制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金剛石基底及其制備方法。背景技術(shù)金剛石具有優(yōu)異的物理、化學(xué)性質(zhì)，在已知的所有物質(zhì)中具有最高的硬度，室溫下具有最高的熱導(dǎo)率，寬的禁帶寬度（5.5eV），最高的聲傳播速度，較高的半導(dǎo)體摻雜性以及從遠(yuǎn)紅外光區(qū)到紫外光區(qū)的光學(xué)透過性，使得其在機(jī)加工、微電子、光學(xué)等許多領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。然而天然金剛石數(shù)量稀少，高溫高壓合成的金剛石不僅價(jià)格昂貴，而且合成金剛石的粒度受限，這使金剛石的優(yōu)異性能不能得到充分利用。1982年，Matsumto等人使用化學(xué)氣相沉積...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。