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一種降低碳化硅原料組分損失的裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12636447

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本實(shí)用新型屬于碳化硅單晶領(lǐng)域,涉及一種碳化硅單晶生長(zhǎng)裝置,特別涉及一種降低碳化硅原料組分損失的裝置。背景技術(shù)作為第三代半導(dǎo)體材料,碳化硅單晶具有禁帶寬度大,抗輻射能力強(qiáng),擊穿電場(chǎng)高,介電常數(shù)小,熱導(dǎo)率大,電子飽和漂移速度高,化學(xué)穩(wěn)定性高等獨(dú)特的特性,被認(rèn)為是制造光電子器件、高頻大功率器件、電力電子器件理想的半導(dǎo)體材料。在白光照明、光存儲(chǔ)、屏幕顯示、航天航空、高溫輻射環(huán)境、石油勘探、自動(dòng)化、雷達(dá)與通信、汽車(chē)電子化等方面有廣泛應(yīng)用,尤其在國(guó)防軍事上有著重要的戰(zhàn)略地位,因此受到各國(guó)的高度重視。目前,生...
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