技術(shù)編號：12631462
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于化學氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種碳化硅沉積設(shè)備的進氣裝置。背景技術(shù)氣相沉積技術(shù)是利用氣相中發(fā)生的物理、化學過程，在工件表面形成功能性的金屬、非金屬或化合物涂層?；瘜W氣相淀積是指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學反應(yīng)生成薄膜的過程。碳化硅沉積設(shè)備用于以三氯甲基硅烷(MTS)為氣源的材料表面抗氧化涂層和基體改性。為了取得好的沉積效果，必須對MTS的流量和壓力進行精密控制，保證爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動在指定的范圍之內(nèi)?，F(xiàn)...
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