技術(shù)編號(hào)：12629524
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及改進(jìn)的微機(jī)電麥克風(fēng)、包括微機(jī)電麥克風(fēng)的電子系統(tǒng)和用于制造微機(jī)電麥克風(fēng)的工藝。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中已知包括第一芯片和第二芯片的微機(jī)電麥克風(fēng)，第一芯片包含微機(jī)電電聲膜換能器，第二芯片包含控制電路或ASIC(專用集成電路)。電聲換能器將造成膜的振動(dòng)的入射聲波轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。例如，膜可以電容性地耦合到基準(zhǔn)電極。膜的變形更改電容性耦合，這可以容易地用電荷放大器電路來(lái)檢測(cè)?？刂齐娐钒ㄐ盘?hào)處理級(jí)(例如，電荷放大器電路)和使得能夠進(jìn)行微機(jī)電麥克風(fēng)的適當(dāng)操作(尤其是聲信號(hào)的換能)所需要的部件。第一芯片和第...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。